彤程新材光刻胶项目投入3年逐步试生产 KrF产品超20种稳定供应国内头部芯片商
来源:长江商报
在光刻胶产能建设方面,彤程新材有了新进展。
11月5日,彤程新材(603650.SH)公告显示,公司投资建设年产1.1万吨半导体、平板显示用光刻胶及2万吨相关配套试剂项目工程阶段已竣工,目前已逐步进入试生产阶段。
值得一提的是,目前,彤程新材G线光刻胶已经占据国内较大的市场份额。KrF光刻胶量产品种达20种以上,稳定供应国内头部芯片制造商。
半年报显示,2023年上半年,彤程新材继续加大在半导体光刻胶方面的研发投入,新增研发立项48项,新产品销售收入占比达半导体光刻胶业务收入总额的41.36%。
产线优化及品控升级完成
三年磨一剑,彤程新材新建项目有了实质进展。
11月5日晚间,彤程新材发布公告显示,公司于2020年12月审议通过全资子公司上海彤程电子材料有限公司(简称“彤程电子”)在上海化学工业区投资建设年产1.1万吨半导体、平板显示用光刻胶及2万吨相关配套试剂项目,目前该项目工程阶段已竣工,逐步进入试生产阶段,同时在国际国内半导体厂商及光刻胶厂商战略合作推动下,完成了产线优化及品控升级。
具体来看,彤程新材的上海化学工业区工厂年产1千吨半导体光刻胶量产产线,主要包括年产300/400吨ArF及KrF光刻胶量产产线,通过采用超高纯PFA(涂层)设备、引入高精度物料流量控制系统、配以自研的高精度高效率光刻过滤系统,可以实现ppt级金属杂质及0.1um级别的颗粒管控,具备不同配方先进制程光刻胶的生产能力。
在ArF光刻胶产品方面,彤程新材已经完成ArF光刻胶部分型号的开发,首批ArF光刻胶的各项出货指标能对标国际光刻胶大厂产品,已具备量产能力,目前处于量产前的光刻工艺测试及产品验证阶段,能否验证通过尚存在一定的不确定性。产能可同时供应国内大部分芯片制造商,能较好地满足国内先进制程光刻胶的部分需求。
目前,彤程新材G线光刻胶已经占据国内较大的市场份额;I线光刻胶已广泛应用于国内6“、8”、12“集成电路产线,支持的工艺制程涵盖14nm及以上工艺。KrF光刻胶量产品种达20种以上,稳定供应国内头部芯片制造商。
为解决ArF光刻胶所需的高纯溶剂及国内先进工艺制程的需求,彤程新材已搭建完成高纯EBR装置,成为国内首家建有高纯EBR精馏塔设备及掌握高纯精馏技术的本土溶剂供应商。
同时,彤程新材也提醒,光刻胶项目定位于实现相关材料的国产替代,公司将直接面对国外龙头厂商的激烈市场竞争。
成国内深紫外KrF光刻胶唯一量产商
彤程新材主要从事新材料的研发、生产、销售和相关贸易业务,是全球领先的新材料综合服务商,主要分为汽车/轮胎用特种材料、电子材料、全生物降解材料三大业务板块。
在电子材料领域,彤程新材依托旗下彤程电子整合集团内资源打造电子化学品产业化平台,公司电子材料业务主要涵盖半导体光刻胶及配套试剂、显示面板光刻胶、PI材料及电子类树脂等产品。
在显示面板光刻胶方面,彤程新材下属子公司北旭电子是国内最大的液晶正性光刻胶本土供应商,同时也是中国大陆第一家Array用正性光刻胶本土生产厂家。
2023年半年报显示,目前,彤程新材是国内领先的半导体光刻胶生产商、国内深紫外KrF光刻胶唯一量产供应商以及国内芯片生产大厂光刻胶原料本土供应商之一;公司拥有8000吨平板用光刻胶生产能力,是国内首家TFT-LCD Array光刻胶生产商,国内最大的液晶正性光刻胶本土供应商。
业绩方面,2023年前三季度,彤程新材实现营业收入21.96亿元,同比增长18.89%;净利润3.50亿元,同比增长45.57%。
研发方面,彤程新材前三季度研发费用达1.31亿元,同比增长16.74%,与营收增幅基本保持一致。
截至2023年6月,彤程新材累计专利申请573件,其中发明专利397件,实用新型专利申请174件,外观设计专利申请2件。
半年报显示,2023年上半年,彤程新材继续加大在半导体光刻胶方面的研发投入,新增研发立项48项,包括14个KrF光刻胶项目,26个I线光刻胶项目,8个新材料项目。新产品销售收入占比达到半导体光刻胶业务收入总额的41.36%。