来源：长江商报

长江商报记者 沈右荣

筹划再融资，微导纳米（688147.SH）加码产业布局。

5月29日晚间，微导纳米披露再融资预案，公司拟通过发行可转换公司债券募资不超过11.70亿元，用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂项目建设、补充流动资金等。

微导纳米是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商，产品已经覆盖逻辑、存储、新型显示和化合物半导体等领域。

公司认为，实施上述扩产计划，公司可以进一步把握市场机会，进而提升综合竞争力。

近几年，受市场波动影响，微导纳米的经营业绩也有所波动，但在2023年，公司业绩暴增。公司营业收入16.80亿元，同比增长145.39%；归属于母公司股东的净利润（以下简称“净利润”）2.70亿元，同比增长近4倍。

微导纳米重视研发，2023年度，公司研发投入为3.08亿元，同比也为翻倍增长，其中约50%投向半导体领域。期末，公司研发人员数量为429人，占员工总数的21.55%。

借助再融资扩产

微导纳米计划借助再融资进行扩产。

根据最新披露的再融资预案，微导纳米计划通过发行可转换公司债券方式募资不超过11.70亿元。这笔资金在扣除相关费用后，3亿元补充公司流动资金、2.27亿元用于研发实验室扩建项目，约6.43亿元用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂项目建设。

薄膜沉积设备通常用于在基底上沉积导体、绝缘体或者半导体等材料膜层，使之具备一定的特殊性能，广泛应用于光伏、半导体等领域的生产制造环节。在光伏领域，薄膜沉积设备主要应用于太阳能晶硅电池片的制造，其运用能够确保膜层的均匀性和稳定性，从而提高电池的光电转换效率和使用寿命；在半导体领域，薄膜沉积设备主要应用于逻辑、存储芯片的制造过程中，其能够精确、均匀地沉积不同材料的薄膜，调控半导体器件的电学、光学和磁学性质，进而提升半导体器件的整体性能。

近年来，半导体领域行业景气度持续攀升，半导体薄膜沉积设备市场呈现出较好发展态势。国内半导体市场也不断扩大，对薄膜沉积设备的需求也在持续增长。

微导纳米介绍，目前，我国在高端薄膜沉积设备领域基本依赖进口，这不仅增加了生产成本，也制约了我国半导体产业的自主可控发展。因此，积极推动对薄膜沉积设备的扩产和重点技术的突破与创新，对于加快半导体产业链国产替代进程具有重要意义。

微导纳米是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商，公司表示，其已研制出多种真空薄膜技术梯次发展的薄膜沉积设备产品体系，通过扩大生产规模，投入研发资源，优化生产流程，提升产能和效率，能够助力我国半导体设备国产替代，促进半导体产业自主可控，积极推动我国半导体产业链良性发展。

本次可转债融资是微导纳米首次再融资。

2022年12月，微导纳米通过闯关IPO登陆上交所科创板，募资11亿元，所幕资金用于基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目、基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目、集成电路高端装备产业化应用中心项目等项目建设。

截至2023年底，上述项目还在建设中，尚需继续投入约2.50亿元，其中两个项目预计今年达到预定可使用状态。

总资产6年增长97倍

身处阳光赛道，微导纳米实现了快速发展。

公开信息显示，2015年12月，微导纳米在江苏无锡成立。

根据公开数据，2017年底，微导纳米总资产0.77亿元，到2023年底，总资产达到75.82亿元，6年间增长了约97倍。

近年来，微导纳米的营业收入持续增长。2018年，公司营业收入为0.42亿元，2019年至2021年，分别为2.16亿元、3.13亿元、4.28亿元，同比增长414.94%、44.82%、36.91%。对应的净利润方面，2018年为亏损0.28亿元，2019年至2021年分别为0.55亿元、0.57亿元、0.46亿元，同比变动幅度为292.93%、4.52%、-19.12%。

2022年12月，微导纳米登陆A股市场，上市当年，公司实现的营业收入为6.85亿元，同比增长59.96%；净利润为0.54亿元，同比增长17.43%。

2023年，公司实现的营业收入、净利润分别为16.80亿元、2.70亿元，同比增长145.39%、399.33%。

从数据上看，2023年，微导纳米的经营业绩较为亮丽。对此，公司解释，公司积极把握下游光伏、半导体行业市场规模扩大所带来的市场机遇，产品工艺、客户群体覆盖度进一步扩大，业务呈现良好发展态势，市场竞争力、运营效率持续提升，有力推动了公司订单规模和经营业绩快速增长。

从营业收入构成看，微导纳米收入主要来自光伏及半导体领域。公司称，在这两个领域，其均具有较高的市场地位，技术不断突破。

在半导体领域内，微导纳米已与国内多家头部半导体厂商建立了深度的合作关系，公司开发了以 CVD 为代表的多种真空薄膜技术产品，多项设备的镀膜质量等关键指标均达到国际先进水平。高介电常数栅氧薄膜工艺难度较大，公司是国内首家将其成功量产应用于集成电路制造前道生产线的国产设备公司，也是国内少数成功将该类设备应用于新型存储器制造生产线的国产设备厂商，填补了我国在该项半导体设备上的空白。

在光伏领域，根据公开的市场数据统计，微导纳米 ALD 产品已连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一。

微导纳米注重研发。2023年，公司研发投入为3.08亿元，同比增长123.19%。